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【48812】虹润温度操控器在单晶炉设备改造中的运用?


时间: 2024-05-07 07:31:29

作者: fun88体育官网登录入口

  虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器适用于有必要进行高精度多段曲线程序升/降温操控的体系,它可依据出产的悉数进程的要求,依照必定的曲线段曲线目标进行编程操控,每一段均选用PID参数设定操控,使操控更为准确牢靠,便利灵敏的曲线操控功用,可实时监控曲线程序段的运转时刻和状况,多种事情输入功用。通过多种曲线操控输出功用,可完成曲线操控暂停、曲线操控清零、曲线操控步进等功用,并可完成手/主动无扰动切换。

  单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶资料熔化,用直拉法成长无错位单晶的设备。单晶炉需求操控的内容包括晶体的直径、温度(功率)、质料(硅料)、走漏率和氩气质量等,其间温度操控好坏直接影响到是否成为晶体的重要的条件。虹润自主开发的虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器在单晶炉的温度操控中发挥着重要的效果。

  1、软件选用人工智能操控算法,通过上电主动盯梢测量值改变,依据时刻和所设定操控值的函数联系分段完成温度的升温、保温文降温的温度调理

  虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器在单晶路温度操控原理图见下图:

  电路阐明:交流电源经变压器降压后运用,输出电压25V,输出电流28A、MJYD-JL-75为晶闸管智能模块,内含晶闸管和移相操控电路,输出最大电压450V,最大电流75A,L1为过流维护熔断器,RSV为过压维护阻容元件。RW为电炉丝。

  NHR-5400输出为0-10MA电流,通过1K电阻后,输出变为0-10V直流电压,满意晶闸管模块的输入电压要求。

  依据单晶炉温度操控的特色,虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器设定工艺曲线如下:

  选用虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器作为主中心操控办理体系以来,碲镉汞单晶炉的操控运作状况良好,至今仍呈现,可以代替进口的操控外表。不管从运转实在的状况来看,仍是从性价比来看,挑选NHR-5400的确可以要求。

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