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【48812】半导体二极管芯片及其制造的进程?


时间: 2024-06-05 07:51:27

作者: fun88体育官网登录入口

  本发明归于半导体技术领域,触及二极管芯片,触及一种半导体二极管芯片及其制造方法;其半导体二极管芯片包含硅片衬底,硅片衬底的底端设置有磷分散层,上部设置有硼分散层,硼分散层的上部及磷分散层的底端设置有金属电极,硅片衬底的四周外侧设置有新式钝化层,新式钝化层包含过渡部分和“鸟嘴”部分;其制造流程:原片清洗‑分散‑吹砂‑清洗‑一次光刻‑台阶腐蚀‑二次光刻‑沟槽腐蚀‑清洗‑钝化‑三次光刻‑金属化‑电性测验‑划片。本发明“鸟嘴”部分有玻璃维护,且玻璃未高出芯片台面,不打火、制造成本低(高于刀刮制程,低于光阻制程)、芯片有用运用面积较大,VF更低、玻璃厚度较厚,耐压能力强、惯例运用的寿命长和高温可靠性好等长处。

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